送風(fēng)量大
潔凈度的提高和維持是半導(dǎo)體器件廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和運(yùn)行的重要任務(wù),杭州潔凈室廠家,這一任務(wù)的完成要依賴很高的送風(fēng)量,是以高能耗為代價(jià)的。就送風(fēng)量而言,一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右,而大規(guī)模半導(dǎo)件器件廠房內(nèi),杭州潔凈室,為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求,需要保證很高的換氣次數(shù),致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1,10000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1,100000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。
潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點(diǎn)
潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)與一般民用建筑的空調(diào)系統(tǒng)的不同,它首先對(duì)控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導(dǎo)體器件廠房內(nèi),在硅襯底上只要落有電路線寬1/10~1/3大小的塵埃,就可能導(dǎo)致芯片電路短路。如今,半導(dǎo)體集成電路的發(fā)展突飛猛進(jìn),近英特爾公司更是推出了采用32
nm線寬的高端處理器芯片,杭州潔凈室公司,把生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度控制推向了。另外,潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對(duì)潔凈度要求較高外,杭州潔凈室價(jià)格,還對(duì)溫度、濕度、震動(dòng)、噪音等都有不同程度要求。
同時(shí),由于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)工藝的特點(diǎn),要求潔凈廠房內(nèi)全天(24h)保持相應(yīng)的潔凈度,目此,潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風(fēng)系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應(yīng)的輸送系統(tǒng)需每天24
h運(yùn)行,這也與其他空調(diào)系統(tǒng)極其不同。運(yùn)行時(shí)間的增長也使其空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。